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俄罗斯推出首台光刻机：350nm

2024-05-28

据外媒报道，俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。俄罗斯联邦工业和贸易部副部长Vasily Shpak表示，该设备可确保生产350纳米工艺的芯片。Shpak表示，“我们组装并制造了第一台国产光刻机。作为泽廖诺格勒技术生产线的一部分，目前正在对其进行测试。”俄罗斯接下来的目标是在2026年制造可以支持130nm工艺的光刻机。

据报道，俄罗斯科学院下诺夫哥罗德应用物理研究所 (IPF RAS) 曾于2022年宣布，正在开发俄罗斯首套半导体光刻设备，并对外夸下海口：这套光刻机能够使用7nm生产芯片，可于2028年全面投产。

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